火湿法联合类的主要工艺为以氢气还原得到铟锡合金，合金再通过精细化的电解精炼进行铟锡的分离等；该技术的缺点是锡主要存在于阳极泥中，铟电解过程中的阳极残级率高，铟的回收率﹤98%。
采用蒸馏法进行铟锡的分离及资源化试验，在油浴温度132 ℃左右，蒸馏5 h左右，可得到满意的铟、锡分离效果及理想的铟锡回收率；本试验工艺可得到99.97%纯度的金属铟产品的同时，还可继续生产高品质的副产品五水氯化锡。蒸馏过程初期蒸出的盐酸经冷凝回收后回用至盐酸浸出工序，节约酸碱中和成本的同时实现了清洁生产。
全球铟资源的分布也极不平衡，我国是世界上铟资源丰富的国家，已探明储量占比达72.7%。同时，受进口靶材免税政策即将到期的影响，未来进口靶材的成本有可能会大大增加，从而使国产ITO靶材供应成本优势更加显著。
目前中国ITO靶材供应超一半左右依赖进口。本土厂商生产的ITO靶材主要供应中低端市场，仅占国内市场30%的份额；而高端TFT-LCD、触摸屏用ITO靶材几乎全部从日本、韩国进口，占据了70%的市场份额。