半导体类设备搬迁是明通“设备搬迁”产品的一个细分类别,因其生产厂家多、品种发展快,致设备门类及型号较多,可包括:晶圆清洗设备、热处理设备、离子注入设备、PVD(物相沉积)设备、光刻设备、涂布/显影设备、刻蚀/去胶/灰化设备、CMP(化学机械抛光)设备/电镀系统设备、半导体工艺用石墨元件等不同类别设备及器材等,凡以上设备器材纳入重型物流工程项目的,统称为半导体类设备搬迁
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